热阴极电离规真空计的相关内容
如图所示,热阴极电离规中,由热阴极即灯丝发射电子,电离真空中的气体分子,产生离子,由收集极收集产生的离子,形成离子电流,通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度,进而得到气压大小。
这种规的测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。
经改进后的热阴极电离规,Bayard-Alpert规,可以将测量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同气体在相同气压下的电离率不同,这种规在使用时也需要在不同气体下进行标定。
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