原子力显微镜的原理是什么
原子力显微镜通过检测待测样品表面和一个微型敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定,另一端的微小针尖接近样品,这时它将与其相互作用,作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品时,利用传感器检测这些变化,就可获得作用力分布信息,从而以纳米级分辨率获得表面形貌结构信息及表面粗糙度信息。其应用领域更为广阔,除物理、化学、生物等领域外,原子力显微镜在微电子学、微机械学、新型材料、医学等领域都有着广泛的应用。如果想要挑选原子力显微镜,可以考虑Park原子力显微镜的Park NX-Wafer。它是晶圆厂唯一具有自动缺陷检测的原子力显微镜。
原子力显微镜可以检测很多样品,提供表面研究和生产控制或流程发展的数据,这些都是常规扫描型表面粗糙度仪及电子显微镜所不能提供的。Park NX-Wafer全自动AFM解决了缺陷成像和分析问题,提高缺陷检测生产率达1000%。超高精度和最小化探针针尖变量的亚埃级表面粗糙度测量,能够可靠地获得具有最小针尖变量的的亚埃级粗糙度测量。
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