原子力显微镜敲击模式讲解
第三种轻敲式AFM则是将非接触式加以改良,其原理系将探针与样品距离加近,然后增大振幅,使探针在振盪至波谷时接触样品,由于样品的表面高低起伏,使得振幅改变,再利用类似非接触式的迴馈控制方式,便能取得高度影像。由于接触式扫描容易刮伤试片表面,所以后来改用驱动探针跳动来扫描试片,如此接触试片表面时探针施予的力量不但小了许多,且只有正向作用力,但是此时系统不再利用探针悬臂的偏折量来作回馈,而是探针跳动时悬臂的振幅量来回馈。其示意图如图4-4所示。
图4-4 轻敲式AFM[1]
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