YS/T 985-2014
硅抛光回收片
Polished reclaimed silicon wafers
YST985-2014, YS985-2014
YS/T 985-2014 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- YS/T 985-2014
- 别名
- YST985-2014
YS985-2014 - 发布
- 2014年
- 发布单位
- 行业标准-有色金属
- 当前最新
- YS/T 985-2014
- 引用标准
- GB GB/T 11073 GB/T 12962 GB/T 12964 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14144 GB/T 14264 GB/T 14844 GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 GB/T 19921 GB/T 19922 GB/T 2828.1 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624
- 本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片(主要包括100 mm、125 mm、150 mm和200 mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片)经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外,使用方需注意硅回收...