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半导体参数测试仪

2021.8.31

  半导体参数测试仪是一种用于工程与技术科学基础学科领域的仪器,于2016年12月08日启用。

  技术指标

  1.小电流i-v : 超低漏电流(fA),最 大电压200V,最大电流1A; 2.高电压I-V : 最大电压1000V 3.通用I-V : 适合于大多数参数测试 4.c-v单元: 能够在1MHz下测量10pF电 容,准确度达1%。

  主要功能

  自动完成多路硅微条探测器中多条探测单元的I-V特性、C-V特性、击穿特性等参数测量,无需人工一点一点的测量。其主要任务是快速高效地甄别多路硅微条探测性能,从而优化工艺,提高探测器性能,更好的服务于核物理实验。

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