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扫描电镜与电子探针

本专题涉及扫描电镜与电子探针的标准有164条。

国际标准分类中，扫描电镜与电子探针涉及到光学设备、分析化学、光学和光学测量、长度和角度测量、教育、词汇、犯罪行为防范、热力学和温度测量、电子显示器件、表面处理和镀涂、建筑材料、空气质量、电磁兼容性(EMC)、道路车辆装置、物理学、化学、半导体分立器件、集成电路、微电子学、钢铁产品、陶瓷、涂料和清漆、电子管、医学科学和保健装置综合。

在中国标准分类中，扫描电镜与电子探针涉及到电子光学与其他物理光学仪器、颜料、电磁计量、基础标准与通用方法、化学计量、检验专用设备、教学专用仪器、放大镜与显微镜、技术管理、教育、学位、学衔、石油地质勘探、石油勘探、开发与集输工程综合、记录仪器及光线示波器、光学设备、犯罪鉴定技术、、材料防护、油页岩、混凝土、集料、灰浆、砂浆、电子元件综合、半导体分立器件综合、钢铁与铁合金分析方法、光学计量、特种陶瓷、公共医疗设备、大气环境有毒害物质分析方法、化妆品。

国家质检总局，关于扫描电镜与电子探针的标准

GB/T 17359-1998 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则
GB/T 18295-2001 油气储层砂岩样品扫描电子显微镜分析方法
GB/T 19267.6-2003 刑事技术微量物证的理化检验第6部分;扫描电子显微镜法
GB/T 28873-2012 纳米颗粒生物形貌效应的环境扫描电子显微镜检测方法通则
GB/T 17365-1998 金属与合金电子探针定量分析样品的制备方法
GB/T 17361-1998 沉积岩中自生粘土矿物扫描电子显微镜及X射线能谱鉴定方法
GB/T 17361-2013 微束分析沉积岩中自生粘土矿物鉴定扫描电子显微镜及能谱仪方法

福建省地方标准，关于扫描电镜与电子探针的标准

DB35/T 110-2000 油漆物证检测电子探针和扫描电镜X射线能谱分析方法

国际标准化组织，关于扫描电镜与电子探针的标准

ISO/WD TR 23683:2023 表面化学分析扫描探针显微镜使用电扫描探针显微镜对半导体器件中载流子浓度进行实验量化的指南
ISO/TS 21383:2021 微束分析.扫描电子显微镜.定量测量用扫描电子显微镜的鉴定
ISO 27911:2011 表面化学分析.扫描探针显微镜.近场光学显微镜横向分辨率的定义与校准
ISO 22493:2008 微光束分析.扫描电子显微镜方法.词汇
ISO 16700:2004 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
ISO 16700:2016 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
ISO 21222:2020 表面化学分析.扫描探针显微镜.用原子力显微镜和两点JKR法测定柔顺材料弹性模量的程序
ISO 9220:1988 金属覆盖层镀层厚度测量扫描电子显微镜法
ISO 9220:2022 金属涂层.涂层厚度的测量.扫描电子显微镜法
ISO 13083:2015 表面化学分析. 扫描式探针显微术. 电子扫描式探针显微术 (ESPM), 例如用于二维掺杂成像等用途的SSRM和SCM, 中空间分辨率的定义和校准标准
ISO/TS 24597:2011 微光束分析.扫描电子显微镜检查法.图像清晰度评价法
ISO 21466:2019 微束分析.扫描电子显微镜.用CD-SEM评定临界尺寸的方法
ISO 19749:2021 纳米技术.用扫描电子显微镜测量颗粒尺寸和形状分布
ISO/TS 10798:2011 纳米技术.使用扫描电镜与X射线能谱分析的单臂碳纳米管的特征描述
ISO 14966:2019 环境空气.无机纤维颗粒数值浓度的测定.扫描电子显微镜法
ISO 14966:2002 环境空气.无机纤维颗粒的数值浓度的测定.扫描电子显微镜检查法

日本工业标准调查会，关于扫描电镜与电子探针的标准

JIS K 0132:1997 扫描电子显微镜总则
JIS K 3850-1:2006 空中纤维分子的测定.第1部分:光学显微镜法和扫描电子显微镜法
JIS K 0149-1:2008 微光束分析.扫描电子显微镜法.校准图像放大指南
JIS K 3850-1:2000 空气中纤维粒子的测量方法.第1部分:光学显微镜法和扫描电子显微镜法
JIS R 1633:1998 扫描电子显微镜观察用精细陶瓷和陶瓷粉末的样品制备方法

国家计量技术规范，关于扫描电镜与电子探针的标准

JJF 1916-2021 扫描电子显微镜校准规范

行业标准-机械，关于扫描电镜与电子探针的标准

JB/T 6842-1993 扫描电子显微镜试验方法
JB/T 5384-1991 扫描电子显微镜.技术条件

国家计量检定规程，关于扫描电镜与电子探针的标准

JJG(教委) 11-1992 扫描电子显微镜检定规程
JJG 550-1988 扫描电子显微镜试行检定规程

韩国科技标准局，关于扫描电镜与电子探针的标准

KS M 0044-1999 扫描电子显微镜的一般规则
KS I 0051-1999(2019) 扫描电子显微镜的一般规则
KS I 0051-1999 扫描电子显微镜试验方法通则
KS D ISO 22493-2012(2017) 微束分析扫描电子显微镜词汇
KS D ISO 22493:2022 微束分析.扫描电子显微镜.词汇
KS D ISO 22493:2012 微光束分析.扫描电子显微镜.术语
KS D ISO 16700:2013 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
KS D ISO 9220:2009 金属覆盖层.镀层厚度测量.扫描电子显微镜法
KS D ISO 9220-2009(2022) 金属镀层镀层厚度的测量扫描电子显微镜法
KS D ISO 9220-2009(2017) 金属镀层镀层厚度的测量扫描电子显微镜法
KS D ISO 16700-2013(2018) 微束分析－扫描电子显微镜－图像放大率校准指南

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于扫描电镜与电子探针的标准

GB/T 33834-2017 微束分析扫描电子显微术生物试样扫描电子显微镜分析方法

RU-GOST R，关于扫描电镜与电子探针的标准

GOST 8.593-2009 国家测量统一性保证体系.原子力扫描探针显微镜.鉴定方法
GOST R 8.635-2007 国家测量统一性保证体系.原子力扫描探针显微镜.校准方法
GOST R 8.594-2009 确保测量一致性的国家体系.扫描电子显微镜
GOST R 8.636-2007 国家测量统一性保证体系.扫描电子显微镜.校准方法
GOST 8.594-2009 国家测量统一性保证体系.扫描电子显微镜.鉴定方法
GOST R 8.700-2010 确保测量一致性的国家体系.利用原子力扫描探针显微镜进行测量的表面粗糙度效果测高法
GOST R 8.631-2007 国家测量统一性保证体系.扫描电子测量显微镜.验证方法
GOST 19438.21-1979 行扫描块的输出级用小功率电子管.电参数测量法与寿命试验法

KR-KS，关于扫描电镜与电子探针的标准

KS D ISO 22493-2022 微束分析.扫描电子显微镜.词汇
KS C ISO 19749-2023 纳米技术——用扫描电子显微镜测量颗粒尺寸和形状分布

行业标准-教育，关于扫描电镜与电子探针的标准

JY/T 0584-2020 扫描电子显微镜分析方法通则
JY/T 010-1996 分析型扫描电子显微镜方法通则

英国标准学会，关于扫描电镜与电子探针的标准

18/30319114 DC BS ISO 20171 微束分析扫描电子显微镜用于扫描电子显微镜（TIFF/SEM）的标记图像文件格式
BS ISO 16700:2004 微电子束分析.扫描电子显微镜.图像放大校准指南
BS EN ISO 9220:1989 金属镀层.镀层厚度测量.扫描电子显微镜法
BS EN ISO 9220:2022 金属涂层涂层厚度的测量扫描电子显微镜法
BS ISO 13083:2015 表面化学分析. 扫描式探针显微术. 电子扫描式探针显微术 (ESPM), 例如用于二维掺杂成像等用途的SSRM和SCM, 中空间分辨率的定义和校准标准
BS ISO 21222:2020 表面化学分析扫描探针显微镜使用原子力显微镜和两点 JKR 方法测定柔顺材料弹性模量的程序
BS ISO 21466:2019 微束分析扫描电子显微镜 CDSEM评估关键尺寸的方法
BS ISO 16700:2016 微束分析扫描电子显微镜校准图像放大率的指南
19/30351707 DC BS ISO 21222 表面化学分析扫描探针显微镜使用原子力显微镜和两点 JKR 方法测定柔顺材料弹性模量的程序
21/30394409 DC BS ENISO 9220 金属涂层涂层厚度的测量扫描电子显微镜法
BS ISO 19749:2021 纳米技术用扫描电子显微镜测量颗粒尺寸和形状分布
BS EN ISO 19749:2023 纳米技术通过扫描电子显微镜测量颗粒尺寸和形状分布
BS CECC 00013:1985 电子元器件质量评定协调体系.基本规范:半导体小片的扫描电子显微镜检验
BS ISO 14966:2019 周围空气无机纤维颗粒数值浓度的测定扫描电子显微镜法
18/30344520 DC BS ISO 21466 微束分析扫描电子显微镜 CD-SEM 评估关键尺寸的方法
18/30351679 DC BS ISO 19749 纳米技术通过扫描电子显微镜测量颗粒尺寸和形状分布
BS ISO 14966:2002 环境空气.无机纤维颗粒的数值浓度的测定.扫描电子显微镜检查法
18/30375050 DC BS ISO 14966 环境空气无机纤维颗粒数值浓度的测定扫描电子显微镜法
19/30394914 DC BS ISO 15632 微束分析用于电子探针显微镜或电子探针微量分析仪(EPMA)的能量色散 X 射线光谱仪的规格和检查的选定仪器性能参数

美国材料与试验协会，关于扫描电镜与电子探针的标准

ASTM E766-98(2003) 校准扫描电子显微镜的放大倍数
ASTM E766-98 校准扫描电子显微镜的放大倍数
ASTM E986-04 扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程
ASTM E986-04(2010) 扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程
ASTM E986-97 扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践
ASTM E986-04(2017) 扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践
ASTM E766-14 扫描电子显微镜放大倍率校准的标准方法
ASTM E766-98(2008)e1 扫描电子显微镜的放大系数的标准校正规范
ASTM C1723-16(2022) 用扫描电子显微镜检查硬化混凝土的标准指南
ASTM C1723-10 用扫描电子显微镜检验硬化混凝土的标准指南
ASTM C1723-16 用扫描电子显微镜检查硬化混凝土的标准指南
ASTM E766-14(2019) 校准扫描电子显微镜的放大倍数的标准实施规程
ASTM E766-14e1 用于校准扫描电子显微镜的放大倍数的标准实施规程
ASTM B748-90(2006) 用扫描电子显微镜测量横截面测定金属涂层厚度的方法
ASTM B748-90(1997) 用扫描电子显微镜测量横截面测定金属涂层厚度的方法
ASTM E2142-08(2015) 用扫描电子显微镜评定和分类钢中夹杂物的标准试验方法
ASTM E2142-08 用扫描电子显微镜分级和分类铁中内含物的标准试验方法
ASTM E2142-08(2023) 用扫描电子显微镜评定和分类钢中夹杂物的标准试验方法
ASTM D8231-19 探测和定位屋顶和防水膜裂缝的低压电子扫描系统的使用
ASTM E2090-00 利用光电子显微镜和扫描电子显微镜对清洁室擦刷工具释放粒子和纤维的尺寸差异计数的标准试验方法
ASTM E2090-12 利用光电子显微镜和扫描电子显微镜对清洁室擦刷工具释放粒子和纤维的尺寸差异计数的标准试验方法
ASTM B748-90(2010) 扫描电子显微镜测量横截面测定金属涂层厚度的标准试验方法
ASTM E2809-13 在法医油漆检查中使用扫描电子显微镜/X射线光谱法的标准指南
ASTM B748-90(2021) 用扫描电子显微镜测量横截面测量金属涂层厚度的标准试验方法
ASTM E1588-95(2001) 用扫描电子显微镜/能量色散光谱法进行枪击残留物分析的标准指南
ASTM E1588-08 用扫描电子显微镜/能量色散光谱法进行枪击残留物分析的标准指南
ASTM E1588-10 用扫描电子显微镜/能量色散光谱法进行枪击残留物分析的标准指南
ASTM E2142-01 利用扫描电子显微镜测定钢中杂质的额定值和分级的标准试验方法
ASTM E1588-95 用扫描电子显微镜/能量色散光谱法进行枪击残留物分析的标准指南
ASTM B748-90(2016) 通过用扫描电子显微镜测量横截面来测量金属涂层厚度的试验方法

行业标准-石油，关于扫描电镜与电子探针的标准

SY/T 5162-2014 岩石样品扫描电子显微镜分析方法
SY/T 5162-1997 岩石样品扫描电子显微镜分析方法
SY 5162-2014 岩石样品扫描电子显微镜分析方法

上海市标准，关于扫描电镜与电子探针的标准

DB31/T 297-2003 扫描电子显微镜放大倍率校准方法

国家能源局，关于扫描电镜与电子探针的标准

SY/T 5162-2021 岩石样品扫描电子显微镜分析方法

法国标准化协会，关于扫描电镜与电子探针的标准

NF X21-005:2006 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
NF A91-108:1995 金属镀层.镀层厚度的测量.扫描电子显微镜法
NF A91-108*NF EN ISO 9220:2022 金属镀层镀层厚度的测量扫描电子显微镜法
NF EN ISO 9220:2022 金属涂层.涂层厚度的测量.扫描电子显微镜法
XP X21-015*XP ISO/TS 24597:2011 微束分析扫描电子显微镜评价图像清晰度的方法
XP ISO/TS 24597:2011 微束分析 - 扫描电子显微镜 - 评估图像清晰度的方法
NF T16-403*NF ISO 19749:2021 纳米技术通过扫描电子显微镜测量粒径和形状分布
NF T25-111-4:1991 碳纤维-织构和结构-第4部分：扫描电子显微镜断口法
NF EN ISO 19749:2023 纳米技术 - 通过扫描电子显微镜测定颗粒尺寸和形状分布

行业标准-司法，关于扫描电镜与电子探针的标准

SF/T 0139-2023 泥土检验扫描电子显微镜/X射线能谱法

中国团体标准，关于扫描电镜与电子探针的标准

T/QGCML 1940-2023 扫描电子显微镜原位高温力学测试装置

SE-SIS，关于扫描电镜与电子探针的标准

SIS SS-ISO 9220:1989 金属涂层．涂层厚度测量．扫描电子显微镜方法
SIS SS CECC 00013-1985 基本规范．半导体芯片的扫描电子显微镜观察

欧洲标准化委员会，关于扫描电镜与电子探针的标准

EN ISO 9220:2022 金属覆盖层.镀层厚度测量.扫描电子显微镜法
EN ISO 9220:1994 金属覆盖层.镀层厚度测量.扫描电子显微镜法(ISO 9220-1988)
EN ISO 19749:2023 纳米技术.用扫描电子显微镜测量颗粒尺寸和形状分布
prEN ISO 9220:2021 金属镀层-镀层厚度的测量-扫描电子显微镜法（ISO/DIS 9220:2021）

丹麦标准化协会，关于扫描电镜与电子探针的标准

DS/EN ISO 9220:1995 金属镀层镀层厚度的测量扫描电子显微镜法
DS/ISO 19749:2021 纳米技术通过扫描电子显微镜测量粒径和形状分布

德国标准化学会，关于扫描电镜与电子探针的标准

DIN EN ISO 9220:2022-05 金属涂层-涂层厚度的测量-扫描电子显微镜法
DIN EN ISO 9220:2021 金属涂层-涂层厚度的测量-扫描电子显微镜法（ISO/DIS 9220:2021）
DIN SPEC 52407:2015-03 纳米技术使用原子力显微镜(AFM)和透射扫描电子显微镜(TSEM)进行粒子测量的准备和评估方法
DIN EN ISO 19749:2023-07 纳米技术 - 通过扫描电子显微镜测量颗粒尺寸和形状分布（ISO 19749:2021）
DIN EN ISO 9220:1995 金属镀层.镀层厚度测量.电子扫描显微镜法 (ISO 9220:1988); 德文版本 EN ISO 9220:1994

行业标准-公共安全标准，关于扫描电镜与电子探针的标准

GA/T 1939-2021 法庭科学电流斑检验扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 1938-2021 法庭科学金属检验扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 1937-2021 法庭科学橡胶检验扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 1522-2018 法庭科学射击残留物检验扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 1521-2018 法庭科学塑料元素成分检验扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 1519-2018 法庭科学墨粉元素成分检验扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 909-2010 微量物证的提取、包装方法扫描电子显微镜/能谱法检验射击残留物
GA/T 1520-2018 法庭科学黑火药、烟火药元素成分检验扫描电子显微镜/X射线能谱法

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于扫描电镜与电子探针的标准

GB/T 35099-2018 微束分析扫描电镜-能谱法大气细粒子单颗粒形貌与元素分析

江苏省标准，关于扫描电镜与电子探针的标准

DB32/T 3459-2018 石墨烯薄膜微区覆盖度测试扫描电子显微镜法

ES-UNE，关于扫描电镜与电子探针的标准

UNE-EN ISO 9220:2022 金属涂层涂层厚度的测量扫描电子显微镜方法
UNE-EN ISO 19749:2023 纳米技术通过扫描电子显微镜测量颗粒尺寸和形状分布

美国机动车工程师协会，关于扫描电镜与电子探针的标准

SAE J1752-2-2003 集成电路的辐射发射测量表面扫描法（环路探针法）10 MHz 至 3 GHz
SAE J1752/2-1995 集成电路的辐射发射测量表面扫描法（环路探针法）10 Mhz 至 3 Ghz
SAE J1752/2-2011 集成电路辐射发射的测量表面扫描法（环路探针法）10 MHz 至 3 GHz
SAE J1752/2-2016 集成电路辐射发射的测量表面扫描法（环路探针法）10 MHz 至 3 GHz
SAE J1752/2-2003 集成电路辐射发射的测量表面扫描法（环路探针法）10 MHz 至 3 GHz

SAE - SAE International，关于扫描电镜与电子探针的标准

SAE J1752-2-2016 集成电路的辐射发射测量表面扫描法（环路探针法）10 MHz 至 3 GHz

AENOR，关于扫描电镜与电子探针的标准

UNE-EN ISO 9220:1996 金属涂层涂层厚度的测量扫描电子显微镜法（ISO 9220:1988）

立陶宛标准局，关于扫描电镜与电子探针的标准

LST EN ISO 9220:2001 金属镀层-镀层厚度的测量-扫描电子显微镜法（ISO 9220:1988）

AT-ON，关于扫描电镜与电子探针的标准

OENORM EN ISO 9220:2021 金属镀层-镀层厚度的测量-扫描电子显微镜法（ISO/DIS 9220:2021）

未注明发布机构，关于扫描电镜与电子探针的标准

BS CECC 13:1985(1999) 电子元件质量评估协调制度：基本规范：半导体芯片的扫描电子显微镜检查

BE-NBN，关于扫描电镜与电子探针的标准

NBN EN ISO 9220:1995 金属保护层．保护层厚度的测定：使用电子扫描显微镜（ISO 9220-1988）

德国机械工程师协会，关于扫描电镜与电子探针的标准

VDI 3861 Blatt 2-2008 固定源排放废气中无机纤维颗粒的测量扫描电子显微镜法
VDI 3492-2004 室内空气测量-环境空气测量-无机纤维颗粒的测量-扫描电子显微镜法
VDI 3492-2013 室内空气测量-环境空气测量-无机纤维颗粒的测量-扫描电子显微镜法

美国国家标准学会，关于扫描电镜与电子探针的标准

ANSI/ASTM D6059:2001 用扫描电子显微镜测定工作环境空气中单晶陶瓷须晶浓度的方法

行业标准-商品检验，关于扫描电镜与电子探针的标准

SN/T 2649.1-2010 进出口化妆品中石棉的测定第1部分：X射线衍射-扫描电子显微镜法