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关于电子探针X射线微区分析的线分析

2022.1.14

   使入射电子束在样品表面沿选定的直线扫描,谱仪固定接收某一元素的特征X射线信号,其强度在这一直线上的变化曲线可以反映被测元素在此直线上的浓度分布,线分析法较适合于分析各类界面附近的成分分布和元素扩散。

  实验时,首先在样品上选定的区域拍照一张背散射电子像(或二次电子像),再把线分析的位置和线分析结果照在同一张底片上,也可将线分析结果照在另一张底片上,合金的背散射电子像,被选定的直线通过胞状a-A1晶粒,X射线信号强度在此直线上的变化曲线。在较高的X射线强度所对应的位置是富Cu的A12Cu相;在a-A1晶粒内部X射线的强度较低,说明其固溶的Cu含量较少;在胞状ct-A1晶粒界面内侧存在一个约10m宽的Cu贫化带。

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