表面三维形貌分析仪
表面三维形貌分析仪是一种用于化学领域的分析仪器，于2017年1月1日启用。
技术指标
1、分辨率：二维分辨率要求达到0.12微米。垂直分辨率0.01微米。 2、激光光源：采用405nm短波长半导体激光,寿命≥10000小时；双光路共焦系统。 3、放大倍数108倍——17000倍。 4、精度要求：XY方向测量准确度要求：测量值的±2%以内；XY方向重复性要求：3σn-1=0.02um；Z方向测量准确度要求：0.2+L/100 um以下；（L=测量长度um），Z方向重复精度要求：σn-1=0.012um。
主要功能
长度、高度、角度、面积、体积测量；长距离（100mm）线粗糙度测量、面粗糙度测量以及3D图像处理。
推荐
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项目成果
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焦点事件
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产品技术
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科技前沿
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科技前沿
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综述
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技术原理
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企业风采
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精英视角
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产品技术
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