EDS、EDX和EDXRF有什么区别
区别如下:
1、EDX是荧光分析,EDS是能谱分析,EDXRF是能量色散型荧光X射线。
2、EDS能量色散溥仪,按能量展谱,主要器件为Li-Si半导体探测器.主要利用X光量子的能量不同来进行元素分析。
3、EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的, 根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。通常EDX结合电子显微镜使用,可以对样品进行微区成分分析。
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