半导体洁净室温湿度影响简述
洁净室内温度的影响主要是从产品精度,合格率以及污染的角度(温度升高后,会引起人出汗,汗水会对产品产生污染,特别是怕钠的半导体车间)来考虑的。越精密、集成度高的电子加工,对温度的敏感性越大。
湿度太高会使物体表面的灰尘难以清除,但是相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于物体表面,静电会使半导体器件发生击穿。
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