日本名古屋大学Kazuo SATO教授来微系统所作学术报告

2010-8-13 00:00 来源: 上海微系统与信息技术研究所
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  8月11日上午,受微系统所焦继伟研究员邀请,来自日本名古屋大学的Kazuo SATO教授,为职工和学生作了题为MEMS Technology Innovation Based on Micro/Nano Science的报告。

  Kazuo SATO教授从1983年就开始致力于MEMS相关技术研究,主要研究领域为单晶硅刻蚀及其物理性能研究、以及传感器、执行器的微系统技术应用。Kazuo SATO教授已发表相关期刊论文115篇,会议论文170篇,出版相关书籍13章节。他曾参与主持IEEE MEMS-97,现任Micromechanics and Microengineering期刊亚洲区主编。

  Kazuo SATO教授在MEMS领域的思路和见解,给在座的科研人员以很大的启发,拓宽了大家的研究思路,更进一步加深了对MEMS技术的认识。