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详述离子探针分析仪在各方面的应用

2021.11.15

  (1)在半导体材料方面的应用

  由于半导体材料纯度要求很高,要求分析的区域最小,迫切要求做表面分析和深度分析,因此也是最适合离子探针发挥作用的领域,其中有代表性的工作有:

  • 表面、界面和体材料的杂质分析

  • 离子注入浓度及掺杂的测定

  • 在实效分析方面的应用

  (2)在金属材料方面的应用

  离子探正在金属材料的表面,薄层深度和微量分析方面应用是很广泛的。

  • 测定各种钢材和合金表面的钝化膜、渗氮层、氧化墨中的成分。

  • 测定各种金属之间的相互扩散、渗透,了解其性质。

  • 测定钢和金属的析出相、夹杂物、碳化物的成分、稀土元素以及硼、磷等在钢材晶界上的偏析。

  • 测定注入到金属表层中的掺杂元素的深度分布。

  • 测定金属表面的沾污和沾物的成分。

  (3)在地质矿物方面的应用

  由于离子探针不需要预先分离样品,样品消耗量少,并可以直接利用电学方法加以纪记录,因此在地质方面有着广泛的应用:

  • 测定陨石中微量元素含量及其分布,以及同位素的丰度比。

  • 测定月球上的稀土元素、碱土元素并与地球上的元素进行对比。

  • 测定长石中的氧、氟化锂中的氟,云母中的钾的扩散。

  • 测定矿物表面的氧化层的成分,找出最佳的选矿工艺。

  (4) 在生物样品方面的应用

  • 测定牙齿和软骨组织中的微量元素的含量和锂的同位素丰度比。

  • 研究牙齿中的氟含量与龋齿的关系。

  • 分析叶子中钙、钾、硼、钠、镁、锰等常见元素的含量,以便研究元素含量的影响。

  (5)在陶瓷工业中的应用

  • 测定磷硅玻璃、氮化硼、硼硅玻璃中的微量元素含量及其分布。

  • 分析稀土元素在水口砖中的扩散,与稀土浇注结瘤的关系。

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