为什么电子探针要使用抛光样品
简单来说 就是电子束从样品里面岀射时会被样品吸收一部分能量,对应一定的吸收距离,样品表面平整的话就有统一的吸收距离,则可统一修正,简单的如ZAF修正。如果样品表面不平整,则打在不同地方电子束的吸收距离不同,那么原来统一的修正显然不再适合。
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