电子探针分析的基本介绍
以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线,对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理试验,又称电子探针X射线显微分析。电子探针分析的原理是:以动能为10~30千电子伏的细聚焦电子束轰击试样表面,击出表面组成元素的原子内层电子,使原子电离,此时外层电子迅速填补空位而释放能量,从而产生特征X射线。
用波长色散谱仪(或能量色散谱仪)和检测计数系统,测量特征X射线的波长(或能量)和强度,即可鉴别元素的种类和浓度。
在不损耗试样的情况下,电子探针通常能分析直径和深度不小于1微米范围内、原子序数4以上的所有元素;但是对原子序数小于12的元素,其灵敏度较差。常规分析的典型检测相对灵敏度为万分之一,在有些情况下可达十万分之一。检测的绝对灵敏度因元素而异,一般为10-14~10-16克。用这种方法可以方便地进行点、线、面上的元素分析,并获得元素分布的图象。对原子序数高于10、浓度高于10%的元素,定量分析的相对精度优于±2%。
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