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显微镜法测氧化膜厚度的方法介绍

2021.12.23

  显微镜法(金相试片观察)

  将经过氧化的零件,切取一试片用金相试片的方法处理后,放在显微镜下,观察氧化膜的厚度。

  GB-T6462-2005 金属和氧化物涂覆层厚度测量-显微镜法 中说明了试样的制备,以及这种方法的偏差。

  显微镜法测量覆盖层厚度简单且直观,其基本原理是:在待测件上选取有代表性的试样,然后经过适当工序制作成符合要求的横断面,通过光学显微镜,在图像放大下,用校正过的目镜测微尺或精度较高的标尺(如游标卡等)测量覆盖层横断面的宽度,即为覆盖层的厚度。

  一般来说,厚度较大时可选择精度较高的标尺直接测量横断面宽度;厚度较小时,则采用目镜测微尺。由于覆盖层厚度往往在几μm至几十μm,因此一般都采用目镜测微尺来进行测量。

  此外,随着光学显微镜向数字化光电图像显示发展,数字化显微镜图像检测技术开始应用到覆盖层测厚领域。该技术使用高分辨率CCD和CMOS摄像机,将显微镜的光学图像转换到计算机中,然后用专用的测量软件系统进行图像测量。

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