关注公众号

关注公众号

手机扫码查看

手机查看

喜欢作者

打赏方式

微信支付微信支付
支付宝支付支付宝支付
×

X射线光电子能谱仪和样品制备

2018.7.27

XPS仪由X射线激发源、样品台、电子能量分析器、检测器系统、超高真空系统等部分组成。

X射线源:在目前的商品仪器中,一般采用Al/Mg双阳极X射线源。常用的激发源有Mg Ka X射线,光子能量为1253.6 eV和Al Ka X射线,光子能量为1486.6 eV。

电子能量分析器:电子能量分析器是XPS的中心部件。其功能是测量光电子的能量分布。有两种类型:半球形分析器和筒镜形分析器。半球形分析器对光电子的传输效率高和能量分辨率好,多用在XPS谱仪上。筒镜形分析器对俄歇电子的传输效率高,主要用在俄歇电子能谱仪上。

超高真空系统:在XPS仪中必须采用超高真空系统,真空度约为10-7Pa,主要是出于以下两方面的原因:避免X射线和光电子与残余气体分子碰撞而损失能量。保持样品表面的原始状态,不发生表面吸附现象。


推荐
热点排行
一周推荐
关闭